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“國產(chǎn)光刻機工廠”鬧烏龍 清華大學相關(guān)研究到底是什么?

文|財新 劉沛林
2023年09月21日 18:45
清華大學2017年開啟的SSMB-EUV光源項目在全球來看仍是一項前沿的光學技術(shù)研究。目前僅從原理上驗證了SSMB光源可應(yīng)用于EUV,距離真正能用于光刻系統(tǒng)仍有距離
資料圖:北京,懷柔科學城高能同步輻射光源項目。近日,國家開發(fā)投資集團下屬中國電子工程設(shè)計院有限公司發(fā)聲明稱,短視頻平臺熱傳的“國產(chǎn)光刻機工廠”項目配圖為該院在北京懷柔建設(shè)的北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。圖:視覺中國

  【財新網(wǎng)】受到網(wǎng)絡(luò)熱炒的“國產(chǎn)光刻機工廠”被證實是一場烏龍。近日,國家開發(fā)投資集團下屬中國電子工程設(shè)計院有限公司(下稱“中國電子院”)發(fā)聲明稱,短視頻平臺熱傳的“國產(chǎn)光刻機工廠”項目配圖為該院在北京懷柔建設(shè)的北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。該項目是國家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施,是中國第一臺高能量同步輻射光源,2019年就開始了建設(shè),將于2025年投入使用。

  據(jù)中國電子院介紹,HEPS項目是通過加速器將電子束加速到6GeV(十億電子福特,能量單位),然后注入周長1360米的儲存環(huán)以光速維持運轉(zhuǎn),電子束在儲存環(huán)的不同位置會沿偏轉(zhuǎn)軌道切線的方向,釋放出穩(wěn)定、高能量、高亮度的光,即同步輻射光。同步輻射光可穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進行立體掃描,從分子、原子的尺度觀察微觀世界,相當于一臺巨型X光機,而并不是網(wǎng)傳的光刻機工廠。

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責任編輯:覃敏 | 版面編輯:肖子何
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